Authors: Kang, Won-Jong
Title: Mikrolithographische Verfahren auf der Basis von SU-8-Dicklack zur Realisierung mikrooptischer Komponenten
Language (ISO): de
Abstract: In letzter Zeit gewinnt die optische Verbindungstechnik auf Basis von polymeren Lichtwellenleitern an großer Bedeutung in elektrisch-optischen Leiterplatten. Hierbei spielt die Ein- und Auskopplung der Lichtsignale mittels eines Koppelelementes wie z.B. eines 45°- Spiegels für eine optische Übertragungsstrecke in der Leiterplatte eine wichtige Rolle. Aus diesem Grund werden in dieser Arbeit mikrolithographische Verfahren zur Herstellung von optischen 3D-Koppelelementen vorgestellt, welche zur einfachen und kostengünstigen Massenproduktion führen können.
Subject Headings: Mikrolithographie
SU-8
Mikrooptik
Dickschicht-Mikrolithographie
Koppelelement
URI: http://hdl.handle.net/2003/21803
http://dx.doi.org/10.17877/DE290R-15910
Issue Date: 2005-12-21T14:05:39Z
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