Authors: | Kang, Won-Jong |
Title: | Mikrolithographische Verfahren auf der Basis von SU-8-Dicklack zur Realisierung mikrooptischer Komponenten |
Language (ISO): | de |
Abstract: | In letzter Zeit gewinnt die optische Verbindungstechnik auf Basis von polymeren Lichtwellenleitern an großer Bedeutung in elektrisch-optischen Leiterplatten. Hierbei spielt die Ein- und Auskopplung der Lichtsignale mittels eines Koppelelementes wie z.B. eines 45°- Spiegels für eine optische Übertragungsstrecke in der Leiterplatte eine wichtige Rolle. Aus diesem Grund werden in dieser Arbeit mikrolithographische Verfahren zur Herstellung von optischen 3D-Koppelelementen vorgestellt, welche zur einfachen und kostengünstigen Massenproduktion führen können. |
Subject Headings: | Mikrolithographie SU-8 Mikrooptik Dickschicht-Mikrolithographie Koppelelement |
URI: | http://hdl.handle.net/2003/21803 http://dx.doi.org/10.17877/DE290R-15910 |
Issue Date: | 2005-12-21T14:05:39Z |
Appears in Collections: | Arbeitsgebiet Mikrostrukturtechnik |
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