Schönbohm, Frank2014-01-072014-01-072014-01-07http://hdl.handle.net/2003/3180010.17877/DE290R-13293dePhotoelektronenspektroskopiePhotoelektronenbeugungSiliziumHafniumdioxidZirkoniumdioxid530Temperaturverhalten und Strukturbestimmung dünner Metalloxidschichten auf Siliziumoberflächendoctoral thesis