Hadjizadeh Ziabari, Seyed Mahdi2010-08-092010-08-092010-08-09http://hdl.handle.net/2003/2734310.17877/DE290R-15623deCyclopentasilanÄtzen von SiliciumChlortrifluorid540Ätzen und Abscheiden von SiliciumGrundlagen und Anwendungendoctoral thesisurn:nbn:de:hbz:290-2003/27343-1