Charakterisierung von mittels Atomic Layer Deposition hergestellten Aluminiumoxid-Dünnschichten

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dc.contributor.advisorBeck, Sarah Emily
dc.contributor.authorKaltenborn, Sven
dc.contributor.refereeTappertzhofen, Stefan
dc.contributor.refereePfost, Martin
dc.date.accessioned2026-11-02T08:16:19Z
dc.date.issued2024-08-29
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2003/45238
dc.identifier.urihttp://dx.doi.org/10.17877/DE290R-27006
dc.language.isode
dc.subject.ddc621.3
dc.titleCharakterisierung von mittels Atomic Layer Deposition hergestellten Aluminiumoxid-Dünnschichtende
dc.typeText
dc.type.publicationtypeBachelorThesis
dcterms.accessRightsopen access
eldorado.dnb.deposittrue
eldorado.secondarypublicationfalse

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