Neuartiger CMOS-kompatibler nanostrukturierter Vakuumsensor

Giebel, Friederike

Neuartiger CMOS-kompatibler nanostrukturierter Vakuumsensor

dc.contributor.advisor	Fiedler, Horst
dc.contributor.author	Giebel, Friederike
dc.contributor.referee	Vogt, Holger
dc.date.accepted	2020-09-03
dc.date.accessioned	2020-10-19T06:53:25Z
dc.date.available	2020-10-19T06:53:25Z
dc.date.issued	2020
dc.description.abstract	Während Mikro- und Nanosensoren in einigen Sensorkategorien bekanntermaßen seit Jahren zum Stand der Technik gehören und Teil des täglichen Lebens sind, werden im Bereich der Vakuummeter weiterhin überwiegend herkömmliche Sensoren und Messgeräte verwendet. Obwohl zahlreiche wissenschaftliche Arbeiten aus den vergangenen Jahrzehnten die Entwicklung von Mikro- und Nano-Vakuumsensoren thematisieren, haben diese sich bisher noch nicht gegen herkömmliche Messzellen durchgesetzt. In diesem Buch wird daher ein neuartiges Konzept zur Entwicklung miniaturisierter Vakuumsensoren vorgestellt, das sich die physikalischen Besonderheiten einer Mikrostruktur zunutze macht. Aus der theoretischen Betrachtung der physikalischen Mechanismen in einer miniaturisierten Gasstrecke werden zwei analytische Modelle entwickelt, die den Stromfluss zwischen zwei großflächigen Elektroden in geringem Abstand beschreiben. Hergestellt wird der Sensorchip mittels CMOS-kompatibler Prozessschritte aus der Planartechnologie und zeichnet sich durch eine gute Empfindlichkeit über einen Druckbereich von mehr als sieben Größenordnungen bei geringer Leistungsaufnahme aus. Es werden die Ergebnisse der Charakterisierung verschiedener nanostrukturierter Sensorchips erläutert und die Vergleichbarkeit mit anderen aktuellen Ansätzen zur Entwicklung von MEMS-Vakuumsensoren diskutiert.	de
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/2003/39783
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.17877/DE290R-21674
dc.language.iso	de	de
dc.subject	MEMS	de
dc.subject	Sensorik	de
dc.subject	Vakuumelektronik	de
dc.subject	Gaselektronik	de
dc.subject	Nanotechnologie	de
dc.subject	Adsorption	de
dc.subject	Ladungsträgerbeweglichkeit	de
dc.subject	Wasserstoffversprödung	de
dc.subject.ddc	620
dc.subject.rswk	MEMS	de
dc.subject.rswk	Adsorption	de
dc.subject.rswk	Sensorik, Elektronik	de
dc.title	Neuartiger CMOS-kompatibler nanostrukturierter Vakuumsensor	de
dc.type	Text	de
dc.type.publicationtype	doctoralThesis	de
dcterms.accessRights	open access
eldorado.secondarypublication	false	de

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