Temperaturverhalten und Strukturbestimmung dünner Metalloxidschichten auf Siliziumoberflächen

dc.contributor.advisor	Westphal, Carsten
dc.contributor.author	Schönbohm, Frank
dc.contributor.referee	Rhode, Wolfgang
dc.date.accepted	2013-12-12
dc.date.accessioned	2014-01-07T07:11:35Z
dc.date.available	2014-01-07T07:11:35Z
dc.date.issued	2014-01-07
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/2003/31800
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.17877/DE290R-13293
dc.language.iso	de	de
dc.subject	Photoelektronenspektroskopie	de
dc.subject	Photoelektronenbeugung	de
dc.subject	Silizium	de
dc.subject	Hafniumdioxid	de
dc.subject	Zirkoniumdioxid	de
dc.subject.ddc	530
dc.title	Temperaturverhalten und Strukturbestimmung dünner Metalloxidschichten auf Siliziumoberflächen	de
dc.type	Text	de
dc.type.publicationtype	doctoralThesis	de
dcterms.accessRights	open access
eldorado.dnb.deposit	true	de

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