Ätzen und Abscheiden von Silicium

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Date

2010-08-09

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Keywords

Cyclopentasilan, Ätzen von Silicium, Chlortrifluorid

Citation

URI

http://hdl.handle.net/2003/27343
 http://dx.doi.org/10.17877/DE290R-15623

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Lehrstühle für Anorganische Chemie