Mikrolithographische Verfahren auf der Basis von SU-8-Dicklack zur Realisierung mikrooptischer Komponenten
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Date
2005-12-21T14:05:39Z
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In letzter Zeit gewinnt die optische Verbindungstechnik auf Basis von polymeren
Lichtwellenleitern an großer Bedeutung in elektrisch-optischen Leiterplatten. Hierbei spielt
die Ein- und Auskopplung der Lichtsignale mittels eines Koppelelementes wie z.B. eines 45°-
Spiegels für eine optische Übertragungsstrecke in der Leiterplatte eine wichtige Rolle. Aus
diesem Grund werden in dieser Arbeit mikrolithographische Verfahren zur Herstellung von
optischen 3D-Koppelelementen vorgestellt, welche zur einfachen und kostengünstigen
Massenproduktion führen können.
Description
Table of contents
Keywords
Mikrolithographie, SU-8, Mikrooptik, Dickschicht-Mikrolithographie, Koppelelement