TiAlN-Beschichtungen mittels hochenergetischer Kathodenzerstaeubung

Tillmann, Wolfgang; Stangier, Dominic; Grisales, Diego

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Tillmann, Wolfgang	-
dc.contributor.author	Stangier, Dominic	-
dc.contributor.author	Grisales, Diego	-
dc.date.accessioned	2021-05-21T11:39:59Z	-
dc.date.available	2021-05-21T11:39:59Z	-
dc.date.issued	2020-06-18	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/2003/40187	-
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.17877/DE290R-22059	-
dc.description.abstract	Hochenergetische Plasmen stellen nach aktuellen Erkenntnissen ein vielversprechendes tribologisches Eigenschaftsprofil für nitridische Hartstoffschichten und deren Anwendungen dar. Jedoch resultiert aus der gesteigerten Ionisationsrate ein hohes Niveau an Druckeigenspannungen in TiAlN‐Dünnschichten (σTiAlN ∼ –6000 MPa), welches die Haftung zwischen Substrat und Beschichtung negativ beeinflussen und zu Delamination und Schädigung führen kann. In diesem Zusammenhang belegen die durchgeführten Untersuchungen, dass durch eine hybride Prozessführung, die aus der synchronen Verwendung von Gleichstrom (DC)‐ und Hochleistungs‐Impuls‐Kathodenzerstäubung (HiPIMS) besteht, eine Reduktion des Eigenspannungszustands in der Schicht erfolgen kann. Dies ermöglicht die Vorteile beider Technologien zu vereinen und somit TiAlN‐Dünnschichten für ein erweitertes Einsatzspektrum als tribologische Beschichtung für wärmebehandelte Werkzeugstähle zu qualifizieren.	de
dc.language.iso	de	de
dc.relation.ispartofseries	Vakuum in Forschung und Praxis;Vol. 32, 2020, Issue 3, Special Issue: Sputtertechnik. S. 26-32	-
dc.rights.uri	https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/	-
dc.subject.ddc	620	-
dc.subject.ddc	670	-
dc.title	TiAlN-Beschichtungen mittels hochenergetischer Kathodenzerstaeubung	de
dc.title.alternative	eine Studie zur Auswirkung von Eigenspannungen auf die Leistungsfähigkeit von TiAlN‐Dünnschichtsystemen	de
dc.type	Text	de
dc.type.publicationtype	article	de
dc.subject.rswk	Sputtern	de
dc.subject.rswk	Werkzeugstahl	de
dc.subject.rswk	Tribologie	de
dc.subject.rswk	Beschichten	de
dc.subject.rswk	Eigenspannung	de
dcterms.accessRights	open access	-
eldorado.secondarypublication	true	de
eldorado.secondarypublication.primaryidentifier	https://doi.org/10.1002/vipr.202000737	de
eldorado.secondarypublication.primarycitation	Vakuum in Forschung und Praxis. Vol. 32, 2020, Issue 3, Special Issue: Sputtertechnik. S. 26-32	de
Appears in Collections:	Lehrstuhl für Werkstofftechnologie

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