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  4. Lehrstühle für Anorganische Chemie
Autor(en): Hadjizadeh Ziabari, Seyed Mahdi
Titel: Ätzen und Abscheiden von Silicium
Sonstige Titel: Grundlagen und Anwendungen
Sprache (ISO): de
Schlagwörter: Cyclopentasilan
Ätzen von Silicium
Chlortrifluorid
URI: http://hdl.handle.net/2003/27343
http://dx.doi.org/10.17877/DE290R-15623
Erscheinungsdatum: 2010-08-09
Enthalten in den Sammlungen:Lehrstühle für Anorganische Chemie

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