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  3. 03 Fakultät für Chemie und Chemische Biologie
  4. Lehrstühle für Anorganische Chemie
Authors: Hadjizadeh Ziabari, Seyed Mahdi
Title: Ätzen und Abscheiden von Silicium
Other Titles: Grundlagen und Anwendungen
Language (ISO): de
Subject Headings: Cyclopentasilan
Ätzen von Silicium
Chlortrifluorid
URI: http://hdl.handle.net/2003/27343
http://dx.doi.org/10.17877/DE290R-15623
Issue Date: 2010-08-09
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