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  5. Experimentelle Physik I
Autor(en): Schönbohm, Frank
Titel: Temperaturverhalten und Strukturbestimmung dünner Metalloxidschichten auf Siliziumoberflächen
Sprache (ISO): de
Schlagwörter: Photoelektronenspektroskopie
Photoelektronenbeugung
Silizium
Hafniumdioxid
Zirkoniumdioxid
URI: http://hdl.handle.net/2003/31800
http://dx.doi.org/10.17877/DE290R-13293
Erscheinungsdatum: 2014-01-07
Enthalten in den Sammlungen:Experimentelle Physik I

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